陽圧クリーンベンチの清浄度の変化

ＨＥＰＡフィルターユニットを搭載したデスクトップ用クリーンベンチの効果についてです。 このベンチの内寸はＷ８００×Ｄ５００×Ｈ７００で、周囲は脱着可能な帯電防止ビニールシートを貼っています。 天井には処理風量１立米／分のＨＥＰＡフィルターユニット×１台を搭載しています。 また、内部の清浄度をモニターするために、日本電産サンキョー製「パーティクルモニタ」という装置を設置しています。 この装置は連続した清浄度の観測が可能で、その結果はリアルタイムでグラフ化することができます。